高效過濾器檢漏的目的：通過對潔凈室已安裝好的高效過濾器進行檢漏),確認高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測試區(qū)域內(nèi)的潔凈室的潔凈度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫，都會導致達不到預定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。通過測試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補救措施 。

下面為高效過濾器檢漏步驟介紹

1、測試之前拆除空調(diào)箱的二級中效過濾器，將氣溶膠發(fā)生器放置在風機的負壓段，并將其加熱到400℃。

2、將氣溶膠發(fā)生器的進氣口與氮氣瓶接通，緩慢打開氮氣瓶出口減壓閥，使氮氣壓力保持在0.2～0.5Mpa左右，立即會產(chǎn)生氣溶膠顆粒。

3、穩(wěn)定一段時間后，在總送風管測風速處用氣溶膠光度計檢測氣溶膠濃度，即上游濃度值。所測氣溶膠濃度應在10～20ug/L范圍內(nèi)。

4、測試下游氣溶膠顆粒之前，將氣溶膠濃度參比值設為上游測得的濃度值。用氣溶膠光度計采樣探頭對高效過濾器及其四周框架掃描檢漏。檢測時光度計探頭離開過濾器表面2～4cm，沿著過濾器內(nèi)邊框來回掃描檢漏，掃描速度3～5cm/s，掃描順序依次為括過濾器整個斷面、過濾器濾紙與框架之間、框架本身及其它安裝節(jié)點處。

5、檢漏時應有兩人操作，一人在上面用光度計采樣探頭來回掃描過濾器，另一人在下面觀察光度計顯示數(shù)值，并做好記錄。

了解更多：如何降低高效過濾器本身的泄漏

包含：鈉焰法、油霧法、DOP 法、粒子計數(shù)法、熒光法。

2.2.1鈉焰法

該方法在1969年起源于英國，歐洲部分國家于20世紀70~90年代實行。目前在我國仍在使用，它的實驗塵源為單分散相氣化鈉鹽霧。鈉焰法是根據(jù)鈉原子被氫氣火焰激發(fā)后發(fā)出波長為589nm的特征光，光的強度與氣溶膠質(zhì)量濃度成比例的原理，通過檢測被測過濾器前后光強度的比值來計算過濾器效率。鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽霧并進入風道。在過濾器前后分別采樣， 含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍、亮度增加。以火焰的亮度來判斷空氣的鹽霧濃度，并以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率，主要儀器為光度計國家標準規(guī)定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4μm,但對國內(nèi)現(xiàn)有裝置的實測結(jié)果為0.5μm。歐洲對實際實驗鹽霧顆粒中徑的測量結(jié)果為該方法的相關標準有：英國BS3928-1969,歐洲Eurovent 4/4,中國GB6165-85。

鈉焰法只能檢測過濾效率小于5個9的過濾器，并且不同的鈉焰臺對同一系列過濾器的檢測表明鈉焰臺的效率測試結(jié)果往往相差偏大，另外鈉焰法測試會對過濾器造成鈉污染，用此方法進行過測試的被測卨效過濾器在電子行業(yè)中的應用有很大限制。隨著掃描法的普及，歐洲己經(jīng)不再使用鈉焰法，國內(nèi)有關部門正在修訂原有的國家標準。

2.2.2油霧法

該方法起源于德國，中國和前蘇聯(lián)也實行。塵源為油霧。以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。德國規(guī)定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3-0.5μm國內(nèi)標準規(guī)定油霧平均重量直徑為0.28-0.34μm,對油的種類未做具體規(guī)定。該方法在徳國已經(jīng)成為歷史，在國內(nèi)也只有部分生產(chǎn)濾材的廠家在測量過濾材料時使用。相關的標準有：中國GB6165-85,德國DIN24184-1990。

2.2 3 DOP 法

該方法曾經(jīng)是國際上測量高效過濾器最常用的方法，于1956年起源于美國， 曾被許多國家釆用，但在中國國家標準中未被采用。它的實驗塵源為0.3μm單分散相鄰苯二甲酸—辛酯（DOP)液滴，也稱為“熱DOP”。將DOP液體加熱成 蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3μm左右的顆粒，進入風道。測量過濾器前后氣樣的濁度，并由此判斷過濾器 對0.3μm粉塵的過濾效率。測量儀器主要是光散射式光度計（photometer)。與此對應的‘‘冷DOP”是指Laskin噴嘴（用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，飛濺產(chǎn)生霧態(tài)人工塵）產(chǎn)生的多分散項DOP粉塵，在對過濾器進行掃描測試時，人們經(jīng)常使用冷DOP。相關標準有：MIL-STD-282-1956。

早期，人們認為過濾器對0.3μm的粉塵最難過濾，因此規(guī)定使用0.3μm粉塵測量高效過濾器。DOP中含苯環(huán)，人們懷疑它致癌，因此許多實驗室改用性能類似但不合苯環(huán)的替代物，如DOS。

2.2.4粒子計數(shù)法

該方法在歐洲通用，美國超高效過濾器測試也采用比較類似的方法。是目前國際上的主流測試方法。塵源為多分散相液滴，或確定粒徑的固體粉塵。有時， 過濾器廠商要按照用戶的特殊要求，使用大氣粉塵或其他特定粉塵。若測試中使用的是凝結(jié)核計數(shù)器，就必須使用粒徑已知的單分散相實驗粉塵。主要測量儀器為大流量激光粒子計數(shù)器或凝結(jié)核計數(shù)器（CNC）。用計數(shù)器對過濾器的整個出風面進行掃描檢驗，計數(shù)器給出毎點的粉塵的個數(shù)，還可以比較各點的局部效率》 歐洲的經(jīng)驗表明，對于高效空氣過濾器，最易穿透的粉塵粒徑在0.1μm~0.25μm 之間的某一點，先確定測試條件最易穿透粉生粒徑，然后連續(xù)掃描測量過濾器對該粒徑粉塵的過濾器效果，歐洲將這種方法稱為MPPS法。美國標準規(guī)定只測最 0.l~0.2nm區(qū)間的顆粒。該方法的相關標準有：歐洲EN1882-1998~2000,美國 IES-RP-CC007.1-1992。

2.2.5熒光法
只有法國使用目前僅限于對部分核工業(yè)過濾器的測試。試驗塵源為噴霧器產(chǎn)生的熒光素鈉粉塵。試驗中，首先在過濾器前后采樣，然后用水溶解采樣濾紙上的熒光素鈉，再測景含熒光素鈉水溶液在特定條件下的熒光亮度，這一亮度間接地反映出粉塵的重竜。以過濾器前后樣品的熒光克度差別來判斷過濾器效率發(fā)塵裝置產(chǎn)生的粉塵粒徑的計數(shù)乎均值為0.08μm粒徑的體積平均值為0.15μm。

本文出處：基于歐洲1822標準的高效空氣過濾器全效率測試臺及掃描測試臺的研制

隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展，對電子工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境中的懸浮微粒的控制越來越嚴格，使得空氣過濾產(chǎn)業(yè)面臨著巨大的機遇和挑戰(zhàn)。目前國內(nèi)現(xiàn)行的高效、 超高效過濾器性能測試國家標準的鈉焰法、油霧法由于種種缺陷己不能滿足實際發(fā)展的需要。因此有必要參考相關國際標準研制新型高效、超高效空氣過濾器性能檢測系統(tǒng)，解決國內(nèi)高效空氣過濾器質(zhì)量檢測手段落后的現(xiàn)狀。

本檢漏系統(tǒng)以歐洲標準EN1822為綱領，同時借鑒日本J1SB9908標準及美 國IEST標準，分別搭建了高效（超高效）過濾器全效率測試臺和掃描測試臺。整套系統(tǒng)可以測量高效空氣過濾器的最易穿透粒徑效率和局部效率。鑒于國外高效過濾器檢測系統(tǒng)的自動化程度比國內(nèi)要高出一定水平，通過引入步進電機等自動化儀器儀表自行開發(fā)了該檢測臺的自動控制系統(tǒng)和系統(tǒng)控制軟件，使該檢測臺自動化程度高，功能全面。本檢測系統(tǒng)在前人工作的基礎上重新設計了掃描結(jié)構(gòu)和掃描程序，實現(xiàn)了掃描臺的實用性。

本文重點介紹檢測臺的制作，設備選型，自動控制系統(tǒng)的設計。通過新型高效濾器性能檢測實驗臺的研制.獲得一些有價值的數(shù)據(jù)資料。本檢測系統(tǒng)的建成為國內(nèi)過濾器生產(chǎn)商提供了一套保證其產(chǎn)品質(zhì)量的有利T工具，對今后的過濾器自動檢測系統(tǒng)的設計.和制造有一定的指導意義。

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文章來源：基于歐洲1822標準的高效空氣過濾器全效率測試臺及掃描測試臺的研制

高效過濾器檢漏分為出廠檢測和現(xiàn)場檢測兩種。

出廠檢測：即為過濾器廠家在做好的高效過濾器時對其進行的檢測，檢測合格才出廠。

現(xiàn)場檢測：主要是針對過濾器的一些出廠數(shù)據(jù)進行核實、檢測。

高效過濾器檢漏的目的：通過對潔凈室已安裝好的高效過濾器進行PAO檢漏(高效過濾器檢漏PAO的掃描方法),確認高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測試區(qū)域內(nèi)的潔凈室的潔凈度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫，都會導致達不到預定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。通過測試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補救措施 。

工作原理：在被檢測高效過濾器上風側(cè)發(fā)生PAO氣溶膠作為塵源，在下風側(cè)用光度計采樣檢測，含塵氣體經(jīng)過光度計時產(chǎn)生的散射光經(jīng)光電效應和線性放大轉(zhuǎn)換為電量，并由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室，由于粒子擴引起燈光強度的差異，經(jīng)測定這個光強度，光度計便可測得氣溶膠的相對濃度。PAO檢漏法中測得的是高效過濾器的穿透率，即光度計直接顯示穿透率讀數(shù)。

藥廠PAO檢測產(chǎn)品一般為：液槽高效過濾器、DOP液槽高效送風口、DOP液槽FFU、百級層流傳遞窗等產(chǎn)品。

目前針對高效過濾器檢漏PAO的檢測設備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計掃描（photometer scanning）和顆粒計數(shù)器掃描（particle counter scanning）。當然兩種檢測設備也是各有優(yōu)點和缺點的，本文摘自EN-SIO-14644-3的一些相關信息。

1、氣溶膠光度計掃描的缺點：

光度計的精度較顆粒計數(shù)器差，所以只能測試HEPA高效過濾器，ULPA超高效過濾器只能用顆粒計數(shù)法。

2、氣溶膠光度計掃描的優(yōu)點：

光度計使用方便、檢測結(jié)果易于判斷、對泄露檢測比較敏感，所以在現(xiàn)場檢漏中應用比較廣泛，藥廠多用此法做現(xiàn)場測試。

一般來講在做氣溶膠光度計掃描法時，其上游的濃度是做顆粒計數(shù)器掃描時的100到1000倍。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.2）

氣溶膠光度計掃描法（photometer scanning）與顆粒計數(shù)器掃描法（particle counter scanning）做為高效過濾器檢漏測試都可行并有相關測試標準，但測試結(jié)果沒有直接的可比性。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.1）

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直達PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測試PAO法

小知識：為什么要對高效過濾器現(xiàn)場測試？

通常，過濾器通過出廠檢驗，由過濾器廠商提供測試報告，由此證明過濾器符合客戶現(xiàn)場需求。但是，客戶如何能夠更準確清晰的了解過濾設備在現(xiàn)場使用環(huán)境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時候，就必須要通過對過濾設備進行現(xiàn)場檢測，以確認其能夠達到用戶需求及供應商報告所顯示的過濾效果。

根據(jù)對PAO的檢測設備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計掃描（photometer scanning）和顆粒計數(shù)器掃描（particle counter scanning）。

1、使用氣溶膠光度計掃描（photometer scanning）

便攜式數(shù)字光度計規(guī)格

大小:25.7 cm × 33.0 cm × 15.2 cm

重量:21.8Kg，其中主機8.6Kg

電源:100-250V，50/60Hz，0.25 amps @ 240V

自動歸零:啟動時自動零讀數(shù)

報警:超過設置點時，有聲音、視覺和震動報警

流速控制:寬脈沖調(diào)節(jié)能使流速控制在1cfm (28.3lpm) +/- 10%

氣溶膠設置:PAO-4, DOP,

動態(tài)范圍:最高到600微克/升

靈敏度:讀數(shù)的1%（讀數(shù)在0.01%到100%之間）

重復性:讀數(shù)的0.5%（讀數(shù)在0.01%到100%之間）

光源:穩(wěn)定的固態(tài)光源

數(shù)據(jù)輸出:USB

報告:連續(xù)、摘要模式

打印機附件:熱敏打印機提供摘要報告和端口

產(chǎn)品應用:潔凈房,層流臺,生物安全柜,手套箱, HEPA吸塵機, HVAC系統(tǒng), HEPA過濾器,負壓過濾裝置手術室,核子過濾系統(tǒng),科研。

此法主要是用氣氣溶膠光度計對過濾器上游及下游PAO的濃度進行測定，從而確定過濾器是否泄漏。在進行測試時上游濃度控制在10ug/L-100ug/L之內(nèi)聯(lián)樣控頭距離過濾器不超過25.4mm,掃描速度不能超過50mm/s(EN-ISO-14644-3)。在醫(yī)藥行業(yè)中有同樣的要求，如YY0569-2005生物安全柜。

2、使用顆粒計數(shù)器掃描（particle counter scanning）

高效過濾器檢漏PAO的掃描方法使用顆粒計數(shù)器掃描，以顆粒數(shù)來表達過濾器上下游（個/m3，個/ft3），從而計算高效空氣過濾器的局部效率，判斷過濾器是否泄漏。

主要技術參數(shù)：

采樣量：2.83L/min

檢測范圍：100級～30萬級

判斷凈化級別：自動判斷凈化級別

粒徑通道：0.3、0.5、1、3、5、10(μm)，六檔粒徑同時顯示

采樣周期：1～10(min)

自凈時間：≤10（min)

公英制換算：有公英制換算

打印功能：內(nèi)置打印機

工作環(huán)境溫度：10～35℃　　相對濕度：≤75%RH

連續(xù)工作時間：8小時

帶計數(shù)超限報警：100級、1000級、10000級、100000級、300000級

電源 功耗：AC 220V 50Hz 15w

外形尺寸（寬×高×深）：203×120×250（mm)

重量（kg)：2.6(kg)

數(shù)據(jù)存儲：246組

顯示方式：高清晰大屏幕液晶屏顯示（LCD）

光源及壽命：半導體激光光源＞30000小時

隨機附件：說明書、合格證、檢測報告、保修卡、等動力采樣頭、采樣管、三角架、打印紙、精美鋁箱

具體的測試方法可以參考EN-ISO-14611-3或IEST-RP-CC034.1。

了解更多知識：高效過濾器檢漏

直達PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測試PAO法

高效過濾器的現(xiàn)場檢漏中通常采用PAO，發(fā)生器在過濾器上游發(fā)塵，使用光度計（photometer）、顆粒計數(shù)器（particle counter）檢測上下游氣溶膠濃度來判定過濾器是否泄漏。

PAO發(fā)生器可分為熱發(fā)生和冷發(fā)生兩種：

1、熱發(fā)生器是利用蒸發(fā)冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發(fā)，并在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3um左右的霧狀PAO進入風道，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.3左右，但因蒸發(fā)效應，其真實粒徑分布在0.1-0.3um。該方法主要用在過濾器穿透效率測試（Penetration test）中，如MIL-STD-282。

2、冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng)laskin噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài)的多分散相PAO氣溶膠，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.5-0.7um左右（EN-ISO 14644-3-B.6.2.2）,CMD（count mean diameter）為0.3um左右（IEST-RP-CC021.1）,且粒徑分布較熱發(fā)生器要寬，成正態(tài)分布。該方法主要用在對過濾器的掃描檢漏（Scan test）。如IEST-PR-CC034.1,EN-ISO-14644-3,EN1822-4（參考：EN 1822對高效過濾器效率等級規(guī)定）。

小知識：為什么要對高效過濾器現(xiàn)場測試？

通常，過濾器通過出廠檢驗，由過濾器廠商提供測試報告，由此證明過濾器符合客戶現(xiàn)場需求。但是，客戶如何能夠更準確清晰的了解過濾設備在現(xiàn)場使用環(huán)境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時候，就必須要通過對過濾設備進行現(xiàn)場檢測，以確認其能夠達到用戶需求及供應商報告所顯示的過濾效果。

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